第308章 给光刻机装“眼睛”（2 / 2）
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“林总。”
江俊的声音压得很低，但压不住底下的东西。
“这个底座……”
“铸铁件自然时效去应力。”
林希接过话。
“这台机器从1979年铸造到现在，经历了四个春夏秋冬。”
“铸铁内部的残余应力。”
“已经通过自然温度循环，完成了最充分的释放。”
“现在这个底座的形变量，比任何人工退火处理都要小。”
他拍了拍铸铁基体。
“这是时间给的礼物。”
“花多少钱都买不来。”
陈默愣住了。
他守了这台机器三年。
听过无数人说它是废铁、是累赘、是过时的破烂。
从来没有人走过来摸一把导轨。
然后告诉他，这台机器的底子是好的。
直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来：
【懂行的来了！自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”，放得越久越值钱！】
【林总之前造砥柱机床，底座用的泉城青花岗岩，也是同样的道理，追求极致的形变稳定性。】
【所以这台光刻机的机械底座，反而因为放了四年，变成了最完美的状态？】
【废铁？这是宝贝！被你们当废铁扔了四年的宝贝！】
陈默的嘴唇哆嗦了好几下。
“你是说……这台机器，还能用？”
“不是还能用。”
林希收回手指，把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭，
“是它从来就没坏过。”
他绕着GK-3走了一圈。
军大衣被掀开大半，露出主光路系统的铸铝外壳。
汞灯光源的接口擦得锃亮，连螺纹里都没有积灰。
“陈师傅。”
“这台机器当年下马，不是因为光学系统不行。”
林希停在XY工作台前。
用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。
“是因为这个。”
陈默一愣。
“套刻对准。”
林希蹲下去。
指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构，
“纯机械传动，没有位置反馈。”
“丝杠转一圈，理论行程是0.5毫米。”
“但实际上，蜗轮齿面磨损不均匀。”
“每转一圈的真实位移都不一样。”
他站起来，拍了拍手上的灰。
“套刻精度要求正负5微米。”
“这套机械传动的累积误差，最大能到8微米。”
“所以第二层图形永远对不准第一层。”
“废片率超过六成。”
陈默的身体晃了一下。
他当然知道。
这个问题困扰了整个109会战团队两年。
他师傅为了解决这个死区。
在显微镜前连续坐了七十二个小时。
左眼的视网膜就是那时候脱落的。
最后也没解决。
林希从公文包里抽出一张图纸，展开铺在行军床上。
图纸上画着一套改造方案。
XY工作台两侧，各加装一条光栅尺。
光栅尺的信号接入一块数字控制板。
控制板驱动两台微型伺服电机。
替换原有的手摇蜗轮。
“红星和长光所联合自研自产的光栅尺，分辨率1微米。”
林希用笔尖点着图纸，
“配合闭环伺服控制。”
“丝杠的累积误差，在每个采样周期内实时补偿。”
他看向陈默。
“你的机器什么都好。”
“光学系统是王老定的方案。”
“底座经过四年自然时效，主光路没跑偏。”
“它就差一双眼睛。”
“现在，我把眼睛给它装上。”
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